大家好,我是【廣州工控傳感★科技】XPM4傳感器事業(yè)部,張工。
XPM4傳感器全鈦結(jié)構(gòu)和齊平膜,可保護傳感器免受大多數(shù)腐蝕環(huán)境的損害。可實質(zhì)性消除安裝扭矩造成的零點漂移。XPM4 傳感元件采用經(jīng)過溫度補償,由具有微機械加工硅應變片組成的惠斯通電橋結(jié)構(gòu),尤其在低量程和高頻情況下可優(yōu)化。
XPM4-20BS-/Z02傳感器利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術(shù)制成的傳感器。 單晶硅材料受力后,電阻率發(fā)生變化,通過測量電路可以得到與力變化成正比的電信號輸出。 壓阻式傳感器用于測量和控制壓力、張力、壓差和其他可轉(zhuǎn)換為力變化的物理量(如液位、加速度、重量、應變、流量、真空)。
XPM6傳感器是利用半導體材料的壓阻效應,在半導體材料基板上通過擴散電阻制成的器件。 其基板可直接用作測量傳感元件,擴散電阻在基板中以橋的形式連接。 當基板受到外力變形時,各個電阻值都會發(fā)生變化,電橋會產(chǎn)生相應的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基板(或隔膜)材料主要是硅片和鍺片。 由硅片制成的硅壓阻傳感器是越來越敏感的材料。 人們越來越重視,尤其是測量壓力。 用于速度和速度的固態(tài)壓阻傳感器是最常見的。
XPM4-20BG-/Z35/L5M傳感器應用,XPM4傳感器廣泛應用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫(yī)學工程、氣象、地質(zhì)、地震測量等領域。 壓力是航天航空工業(yè)中的關鍵參數(shù),對靜、動壓力、局部壓力和整個壓力場的測量都要求高精度。 壓阻式傳感器非常適合此目的。 例如,用于測量直升機機翼的氣流壓力分布,測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)變形、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。 飛機噴氣發(fā)動機的壓力,采用特殊設計的硅壓力傳感器,工作溫度達到500℃以上。 波音客機的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中使用了精度高達 0.05% 的配套硅壓力傳感器。 在縮小尺寸的風洞模型試驗中,壓阻式傳感器可以密集安裝在風洞入口和發(fā)動機進氣道模型中。
XPM4-20BG-/Z02 傳感器的直徑僅為 2.36 毫米,固有頻率高達 300 kHz,非線性和滯后為滿量程的 ±0.22%。 在生物醫(yī)學中,壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。 已經(jīng)制造出一種針型壓阻式壓力傳感器,其擴散硅膜薄至 10 微米,外徑僅為 0.5 毫米,能夠測量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼內(nèi)壓力的傳感器。 圖 3 是用于測量腦壓的傳感器的框圖。 壓阻式傳感器還有效地用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、汽車發(fā)動機性能的監(jiān)測和控制,以及測量槍膛壓力和發(fā)射沖擊波等武器的測量。 此外,XPM6傳感器還用于油井壓力測量、隨鉆測向定位、地下密封電纜故障點檢測以及流量和液位測量。
XPM4-100BS傳感器的典型特征是什么? ①靈敏度系數(shù)是金屬應變式壓力傳感器的50-100倍。有時,無需放大器即可直接測量壓阻式傳感器的輸出。 ②由于采用集成電路工藝加工而成,體積小,重量輕。 ③壓力分辨率高,可檢測小至血壓的微壓。 ④頻率響應好,可測量幾十千赫的脈動壓力。 ⑤由于傳感器的力敏元件和檢測元件制作在同一硅片。 ⑥由于采用半導體材料硅制成,傳感器對溫度更敏感。 如果不使用溫度補償,其溫度誤差會很大。
為什么 XPM4-10BA-/Z06 傳感器會產(chǎn)生溫度誤差? 如何補償?
EXPM4-10BG-C20006傳感器有兩種:一種是利用半導體材料的體電阻制作粘貼應變片,形成半導體應變片傳感器; 另一種是在半導體材料的襯底上使用集成電路技術(shù)。 擴散電阻構(gòu)成敏感元件,稱為擴散壓阻式傳感器。 XPM4-10BG-/L3M傳感器受溫度影響較大,會引起零漂和靈敏度漂移,從而產(chǎn)生溫度誤差。 在壓阻式傳感器中,擴散電阻的溫度系數(shù)較大,電阻值隨溫度變化,導致傳感器零漂。 傳感器靈敏度的溫度漂移是由壓阻系數(shù)隨溫度的變化引起的。 當溫度升高時,壓阻系數(shù)變小,傳感器的靈敏度降低,反之,靈敏度增加。 零溫漂一般可以通過串并聯(lián)電阻的方法來補償。 通過在電橋的功率回路中串聯(lián)二極管來補償靈敏度溫度漂移。 此外,壓阻式傳感器還可以連接四個擴散電阻組成全橋。 為減少溫度的影響,可采用恒流源供電。 可以看出,電橋的輸出與電阻變化成正比,即與測量值成正比,與電源電流成正比。 輸出電壓與恒流源電流的大小和精度有關,但與溫度無關,所以恒流源具有良好的溫度補償作用。
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