半導(dǎo)體器件混合氣體腐蝕試驗箱試驗箱
設(shè)備用途 | 本設(shè)備主要用于在人工模擬富含SO2、H2S、NO2、CL2氣體在的潮濕恒溫環(huán)境下對試驗產(chǎn)品的加速腐蝕老化情況，以便對材料及產(chǎn)品針對性地進行技術(shù)改進或質(zhì)量分析檢驗。 |
滿足標(biāo)準(zhǔn) | GB/T 2423.19-2014、GB/T 2423.20-2014.GB/T 2423.51-2020、IEC 68-2-60、EIA-364-65A、EIA-364-65B等試驗方法。 |
溫度范圍 | 不小于15℃～50℃。 |
相對濕度 | 不小于(60%～95%)±3% RH。 |
溫度均勻度 | ≤2℃。 |
溫度波動度 | 不小于±0.5 ℃。 |
試驗時間 | 0～9999 小時可調(diào)。 |
二氧化硫濃度 | (100～500)×10-9 V0L\VOL(可調(diào))。 |
硫化氫濃度 | （10～200）×10-9 V0L\VOL(可調(diào))。 |
二氧化氮濃度 | 200×10-9 V0L\VOL(可調(diào))。 |
氯氣濃度 | （10～30）×10-9 V0L\VOL(可調(diào))。 |
氣體產(chǎn)生法 | 鋼瓶法。 |
氣體濃度測量法 | 通過公式計算體積比的方式，再利用質(zhì)量流量計計量。 |
試驗氣體流量 | 根據(jù)試驗要求使用防腐質(zhì)量流量計可調(diào)。 |
試驗氣體每小時體積更換數(shù) | （3～10）次（可調(diào)）。 |
樣品架 | 滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。 |
使用環(huán)境溫度 | 5℃～ 30℃。 |
使用環(huán)境濕度 | ≤85%。 |
制冷方式 | 風(fēng)冷。 |
全系統(tǒng)管路均作通氣加壓48H撿漏測試。 | |
加溫.降溫系統(tǒng)完全獨立。 | |
干燥過濾器、冷媒流量視窗、修理閥、油分離器、電磁閥、貯液筒均采用原裝件 | |
制造廠商：東莞市環(huán)儀儀器科技有限公司 | |
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